回首頁 / 中心簡介
 

    本無塵室是由本校的光電所所有老師協力而成立的,在中台灣地區是唯一的大學有高規格的無塵室,並積極進行半導體研究及人才培育,並獲得許多新竹科學園區產業界青睞,並與半導體公司進行建教合作計畫,投入各項半導體研究之工作。


    隨著科技技術的日新月異,也會不斷的進步,藉由更多的研究計畫與訓練課程,不僅向下扎根,也向上突破,為國家科技產業培育更多優秀的人才。以提供學生在學業上或是研究上所需要的各項半導體製程與模擬實務的環境。本中心提供優良環境,加上光電所師生共同致力於各類半導體的設計與研究,中興大學的半導體製程技術也日益精進,因此常有國內外學者、學生至本中心進行參訪以及學術上的交流。


    未來希望透過更多的研究計畫與學程的開設與全體師生一齊成長,合作培育第一流的半導體製程人才,為國家高科技產業貢獻一份力量,並使中興大學成為中部地區半導體製程技術重鎮。


    本無塵室中心座落於中興大學電機大樓九樓的教室-901。
本無塵室主要有製程的設備以及量測的設備機台。

 

製程機台:

l  RETA                             (快速回火升溫爐)

l  PECVD                            (電漿輔助化學氣相沉積系統)

l  TE                               (熱蒸鍍系統)

l  高溫水平爐管

l  RF Sputter                       (射頻濺鍍機)

l  OAI                              (紅外線雙面對準曝光機)

l  Spin Coater                      (旋轉塗佈機)

l  Glove box                        (手套箱)

   

量測機台:

l  FTIR                             (傅立葉轉換紅外線光譜儀)

l  UV-VIS                           (紫外光可見光吸收光譜儀)

l  Hall Effect Measurement System   (霍爾量測儀)

l  Ellipsometer                     (橢圓儀)

l  4 - Point Probe                   (四點探針)

l  Ea                               (活化能量測系統)